動態(tài)

• 發(fā)布了文章 2025-07-28 18:04

  臺階儀測試原理及應(yīng)用 | 半導(dǎo)體ZnO薄膜厚度測量及SERS性能研究

  

  表面增強拉曼散射SERS技術(shù)在痕量檢測中具有獨特優(yōu)勢，但其性能依賴于活性基底的形貌精度。ZnO作為一種新型半導(dǎo)體薄膜材料，因其本征微米級表面粗糙度通過在其表面覆蓋一層貴金屬Au，能夠大大地提升SERS活性。而ZnO膜厚直接影響Au納米顆粒的分布與"熱點"形成。Flexfilm費曼儀器提供精準(zhǔn)的膜厚測試，其中Flexfilm探針式臺階儀覆蓋納米至微米級薄膜的精

  半導(dǎo)體 測試 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-07-25 18:02

  全光譜橢偏儀在二維材料中的應(yīng)用 | 解析PtSe?光學(xué)常數(shù)厚度依賴關(guān)系

  

  過渡金屬硫化物（TMDs）的厚度可調(diào)能帶結(jié)構(gòu)使其在光電子領(lǐng)域備受關(guān)注。PtSe?作為新型層狀材料，具有從半導(dǎo)體到半金屬的相變特性，帶隙可調(diào)控。然而，其精確光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)長期缺失，制約器件優(yōu)化。橢圓偏振儀憑借亞納米級精度、無損測量及同步獲取膜厚與光學(xué)參數(shù)的優(yōu)勢，成為解決該問題的關(guān)鍵手段。Flexfilm費曼儀器作為國內(nèi)領(lǐng)先測量供應(yīng)商所提供的Flexfilm全光譜

  光譜 材料

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• 發(fā)布了文章 2025-07-23 18:02

  汽車玻璃透光率檢測 | 制備高透光(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜

  

  汽車玻璃需在保證透光的同時高效隔熱，以應(yīng)對太陽輻射引發(fā)的升溫、老化及能耗問題。其關(guān)鍵在于選擇性阻隔紅外和紫外光?，F(xiàn)有隔熱膜研究對可見光平均透過率與隔熱性能的系統(tǒng)研究不足。Flexfilm費曼儀器在汽車工業(yè)領(lǐng)域從研發(fā)、生產(chǎn)到質(zhì)檢的全流程中均有嚴(yán)格監(jiān)控。本研究采用磁控濺射技術(shù)制備(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜，并利用Flexfilm汽車玻璃透過率檢測儀對

  儀器 檢測 汽車

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  半導(dǎo)體薄膜厚度測量丨基于光學(xué)反射率的厚度測量技術(shù)

  

  在半導(dǎo)體制造中，薄膜的沉積和生長是關(guān)鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因為厚度偏差會導(dǎo)致不同的電氣特性。傳統(tǒng)的厚度測量依賴于模擬預(yù)測或后處理設(shè)備，無法實時監(jiān)測沉積過程中的厚度變化，可能導(dǎo)致工藝偏差和良率下降。為此，研究團隊開發(fā)了一種基于激光反射率的光學(xué)傳感器，能夠在真空環(huán)境下實時測量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF

  傳感器 半導(dǎo)體 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  半導(dǎo)體膜厚測量丨光譜反射法基于直接相位提取的膜厚測量技術(shù)

  

  在現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示面板制造中，薄膜厚度的精確測量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法如掃描電子顯微鏡（SEM）雖可靠，但無法用于在線檢測；橢圓偏振儀和光譜反射法（SR）雖能無損測量，卻受限于計算效率與精度的矛盾。近期，研究人員提出了一種創(chuàng)新方法——直接相位提取技術(shù)，成功打破了這一技術(shù)瓶頸。FlexFilm單點膜厚儀結(jié)合相位提取技術(shù)通過將復(fù)雜的非線性方程轉(zhuǎn)化為線

  光譜 半導(dǎo)體 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  DLC薄膜厚度可精準(zhǔn)調(diào)控其結(jié)構(gòu)顏色，耐久性和環(huán)保性協(xié)同提升

  

  類金剛石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨損特性，廣泛應(yīng)用于刀具、模具等工業(yè)領(lǐng)域，其傳統(tǒng)顏色為黑色或灰色。近期，日本研究團隊通過等離子體化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，將DLC薄膜厚度控制在20-80納米范圍內(nèi)，首次實現(xiàn)對其結(jié)構(gòu)色的精確調(diào)控。這一發(fā)現(xiàn)為材料的光學(xué)功能化提供了新方向。等離子體CVD裝置示意圖1結(jié)構(gòu)色產(chǎn)生的物理機制flexfilm結(jié)構(gòu)色由光的干涉效應(yīng)主導(dǎo)

  測量 薄膜

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  橢偏儀測量薄膜厚度的原理與應(yīng)用

  

  在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及新能源材料等領(lǐng)域，精確測量薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)是材料表征的關(guān)鍵步驟。Flexfilm光譜橢偏儀（SpectroscopicEllipsometry,SE）作為一種非接觸、非破壞性的光學(xué)測量技術(shù)，通過分析光與材料相互作用后偏振態(tài)的變化，能夠同時獲取薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。本文將從原理、測量流程及實際應(yīng)用三個方面，解析橢偏儀如何實現(xiàn)

  測量 薄膜厚度

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  聚焦位置對光譜橢偏儀膜厚測量精度的影響

  

  在半導(dǎo)體芯片制造中，薄膜厚度的精確測量是確保器件性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著工藝節(jié)點進入納米級，單顆芯片上可能需要堆疊上百層薄膜，且每層厚度僅幾納米至幾十納米。光譜橢偏儀因其非接觸、高精度和快速測量的特性，成為半導(dǎo)體工業(yè)中膜厚監(jiān)測的核心設(shè)備。1寬光譜橢偏儀工作原理flexfilm寬光譜橢偏儀通過分析偏振光與樣品相互作用后的偏振態(tài)變化，測量薄膜的厚度與光學(xué)性質(zhì)。其核心

  光譜 測量

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54

  薄膜厚度測量技術(shù)的綜述：從光譜反射法（SR）到光譜橢偏儀（SE）

  

  薄膜在半導(dǎo)體、顯示和二次電池等高科技產(chǎn)業(yè)中被廣泛使用，其厚度通常小于一微米。對于這些薄膜厚度的精確測量對于質(zhì)量控制至關(guān)重要。然而，能夠測量薄膜厚度的技術(shù)非常有限，而光學(xué)方法因其非接觸和非破壞性特點而被廣泛采用。Flexfilm全光譜橢偏儀不僅能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)中對薄膜厚度和光學(xué)性質(zhì)的高精度測量需求，還能為科研人員提供豐富的光譜信息，助力新材料的研發(fā)和應(yīng)用。1光

  光譜 測量 薄膜

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• 發(fā)布了文章 2025-07-22 09:53

  基于像散光學(xué)輪廓儀與單點膜厚技術(shù)測量透明薄膜厚度

  

  透明薄膜在生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體及光學(xué)器件等領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用，其厚度與光學(xué)特性直接影響器件性能。傳統(tǒng)接觸式測量方法（如觸針輪廓儀）易損傷樣品，而非接觸式光學(xué)方法中，像散光學(xué)輪廓儀（基于DVD激光頭設(shè)計）雖具備高分辨率全場掃描能力，但對厚度小于25μm的薄膜存在信號耦合問題。本研究通過結(jié)合FlexFilm單點膜厚儀的光學(xué)干涉技術(shù)，開發(fā)了一種覆蓋15nm至1.2mm

  光學(xué)器件 測量 表面輪廓儀

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