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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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紐迪瑞首次公開(kāi)發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器,基于MEMS技術(shù),通過(guò)蝕刻在硅片上的高精密半導(dǎo)體電阻組成惠斯通電橋以作為機(jī)電變換測(cè)量電路,可用于微小壓力檢測(cè)。
Piezoelectricity這詞來(lái)源于希臘語(yǔ)piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
二維微機(jī)電陣列為移動(dòng)光譜分析儀打下基礎(chǔ)
使用具有一個(gè)單點(diǎn)探測(cè)器、基于光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 陣列技術(shù)的全新方法可以克服傳統(tǒng)光譜分析方法中的很多限制。在基于單點(diǎn)探測(cè)器的系統(tǒng)中,一個(gè)固態(tài)光學(xué)...
MEMS傳感器的原理和構(gòu)造深入解讀 MEMS電容式傳感器MEMS壓阻式加速度計(jì)
? MEMS傳感器是當(dāng)今最熱門(mén)的傳感器種類(lèi),MEMS技術(shù)使傳感器微型化、低功耗、集成化成為可能,是未來(lái)傳感器技術(shù)的發(fā)展方向之一。 ? 本文編譯自傳感器寶...
傳感器(Sensor)是指將收集到的信息轉(zhuǎn)換成設(shè)備能處理的信號(hào)的元件或裝置。人類(lèi)會(huì)基于視覺(jué)、聽(tīng)覺(jué)、嗅覺(jué)、觸覺(jué)獲得的信息進(jìn)行行動(dòng),設(shè)備也一樣,根據(jù)傳感器獲...
2023-04-06 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 1.7k 0
封裝的目的之一就是使芯片免受外部氣體的影響,因此,封裝的形式可分為氣密性封裝和非氣密性封裝兩類(lèi)。
2023-03-31 標(biāo)簽:處理器mems機(jī)電系統(tǒng) 1.3萬(wàn) 0
肖特基的硅片上制作孔專(zhuān)利 此后, IBM開(kāi)始在集成電路領(lǐng)域發(fā)力,并在垂直電互連方面取得了突破。
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計(jì)212頁(yè)P(yáng)PT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類(lèi),基本敏感原理介紹,M...
控制權(quán)大作戰(zhàn):誰(shuí)才是智能家居系統(tǒng)的控制中心
該智能家居生態(tài)系統(tǒng)的出現(xiàn)使得家中大量智能設(shè)備成為多余擺設(shè)。而顯示屏和家居自動(dòng)控制等最近附加的功能導(dǎo)致智能設(shè)備外形也發(fā)生了改變,盡管尚未針對(duì)各個(gè)房間的需求...
光線傳感器和距離傳感器一般都是放在一起,位于手機(jī)屏幕聽(tīng)筒周?chē)_@樣就存在一個(gè)問(wèn)題,手機(jī)屏幕上方開(kāi)太多洞或黑色長(zhǎng)條不太好看,各大手機(jī)廠商都一直在想方設(shè)法減...
紐迪瑞發(fā)布MEMS數(shù)字氣壓傳感器,解決高精度壓力測(cè)量難題
具體而言,傳感器通過(guò)檢測(cè)手機(jī)當(dāng)前位置的大氣壓力,利用大氣壓與海拔高度的換算關(guān)系,將壓力轉(zhuǎn)化為海拔高度,即可實(shí)現(xiàn)GPS輔助定位,為用戶提供精準(zhǔn)的海拔信息。...
換能器的英文名稱(chēng)是transducer,用于實(shí)現(xiàn)不同形式的能量相互轉(zhuǎn)換的儀器或器件可以通稱(chēng)為換能器。
MEMS慣性測(cè)量單元SCHA634產(chǎn)品概述
根據(jù)上述4顆MEMS芯片(3種類(lèi)型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計(jì))的結(jié)構(gòu)剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結(jié)構(gòu)示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
中國(guó)汽車(chē)傳感器行業(yè)市場(chǎng)概述分析
從國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展歷程來(lái)看,1986年國(guó)家將傳感器技術(shù)列入國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目,到2000年傳感器技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)初步建立,國(guó)產(chǎn)傳感器技術(shù)水平不斷進(jìn)步。
避免將以下組件直接放置在傳感器后面(PCB背面),因?yàn)樗鼈優(yōu)镻CB和傳感器產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力
2023-03-07 標(biāo)簽:mems連接器PCB設(shè)計(jì) 2.4k 0
當(dāng)外界環(huán)境溫度變化時(shí), MEMS芯片上的硅烷偶聯(lián)劑與硅膠表面結(jié)合發(fā)生化學(xué)反應(yīng),使硅烷的化學(xué)性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,當(dāng)此變化超過(guò)硅烷的臨界值時(shí),將引起硅烷偶聯(lián)...
LIDE激光誘導(dǎo)深度蝕刻技術(shù)在MEMS封裝領(lǐng)域的應(yīng)用
良好的機(jī)械強(qiáng)度:玻璃是一種相對(duì)堅(jiān)固且耐用的材料,可以保護(hù)MEMS器件免受機(jī)械應(yīng)力的影響。另外,不同于金屬或其他材料, 玻璃材料不會(huì)產(chǎn)生疲勞效應(yīng)。適用于長(zhǎng)...
面向人體運(yùn)動(dòng)感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機(jī)械柔性等獨(dú)特優(yōu)勢(shì),被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
數(shù)十年來(lái),基于石英的時(shí)鐘器件一直為航空航天和國(guó)防應(yīng)用提供參考時(shí)鐘。盡管,多年來(lái)基于石英的振蕩器不斷增強(qiáng)以改進(jìn)其缺點(diǎn),但其固有不足使其成為下一代防御系統(tǒng)(...
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