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白光干涉儀能做什么丨科普篇

優(yōu)可測 ? 2023-04-07 09:13 ? 次閱讀
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通過前兩期文章,

相信大家已初步了解白光干涉儀原理和優(yōu)勢。

_______________________________

那白光干涉儀能做什么?

今天小優(yōu)博士帶大家了解白光干涉儀的幾個經典用途。

一、超精細粗糙度測量

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.pngpoYBAGQuoUCAAzlvAACVuYiu1jM883.pngpYYBAGQuoUCAOk1TAAAVk1WFyPc627.png

(例1)玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測量 · 優(yōu)可測白光干涉儀 NA-500拍攝

二、臺階高度

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.pngpYYBAGQuoUCAL_y2AABbV4pG8r0888.pngpYYBAGQuoUCAHBfrAAAXTXiQmUU691.pngpoYBAGQuoUCASNvdAAALQKBfbLk970.png

(例2)掩模版臺階高度測量· 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX-230 拍攝

三、形貌觀察&測量

poYBAGQuoUCAWYI2AAAAlb5ht98077.pngpoYBAGQuoUCAJG7pAABEOcVJG2I751.pngpYYBAGQuoUCAIsLtAABAWrRC1hQ235.png

(例3-1)菲涅爾膜形貌測量· 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

pYYBAGQuoUGAQAiHAABU4dvMGo4974.pngpoYBAGQuoUCADdFPAABJTqU7Ffs879.png

(例3-2)金屬表面研磨后形貌觀察&測量 · 優(yōu)可測 白光干涉儀 EX230 拍攝

四、不同條件下實驗形貌比對&測量

pYYBAGQuoUGAPlh1AAPlBS3YRrk830.gifpoYBAGQuoUGANbLpAAA7yHvqwyM159.png

(例4)化工材料不同濃度液滴后形貌分析· 優(yōu)可測 白光干涉儀 ER230 拍攝

五、“快速掃描”特性可配合機械手、

集成自動化設備進行在線測量

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