作為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的重要設(shè)備，光刻機(jī)不可或缺，尤其是7nm以下先進(jìn)工藝生產(chǎn)離不開(kāi)的EUV光刻機(jī)，目前全球只有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn)，而臺(tái)積電、三星、英特爾等晶圓生產(chǎn)大廠，都有迫切需求，因此這個(gè)市場(chǎng)出現(xiàn)了供不應(yīng)求的局面。

據(jù)businesskorea報(bào)道，三星電子副會(huì)長(zhǎng)李在镕正敦促ASML的高管盡早交付三星今年訂購(gòu)的9臺(tái)的EUV光刻機(jī)。

該報(bào)道指出，李在镕日前在到訪荷蘭時(shí)，與ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管進(jìn)行了會(huì)晤。李在镕要求ASML提前1個(gè)月交付EUV光刻機(jī)。對(duì)于三星的要求，傳ASML考慮最快11月出貨。

據(jù)悉，ASML是全球唯一能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商，年產(chǎn)量為40余臺(tái)，臺(tái)積電方面希望獲得全數(shù)供應(yīng)。EUV光刻機(jī)的價(jià)格昂貴，每臺(tái)要價(jià)約1.3億美元（近10億元人民幣），由于是EUV制程必需的關(guān)鍵設(shè)備，臺(tái)積電與三星電子的競(jìng)爭(zhēng)日益激烈。

現(xiàn)階段，確保EUV光刻機(jī)的數(shù)量是三星最緊迫的任務(wù)，如果EUV光刻機(jī)的安裝延遲，全球客戶(hù)最先進(jìn)的高性能、低功耗芯片訂單將流向臺(tái)積電。

21ic家注意到，臺(tái)積電最近公布了其三季度營(yíng)收，實(shí)現(xiàn)同比21.6%的增長(zhǎng)，其中7nm的占比最高為35%，最新的5nm工藝首次開(kāi)始貢獻(xiàn)營(yíng)收，占比達(dá)到了8%，臺(tái)積電表示，客戶(hù)對(duì)5nm和基于5nm改進(jìn)的4nm芯片的需求非常強(qiáng)勁，明年5nm貢獻(xiàn)將接近甚至超過(guò)20%。面對(duì)臺(tái)積電積極布局下一代先進(jìn)工藝，三星無(wú)疑壓力滿(mǎn)滿(mǎn)，此次催貨EUV光刻機(jī)，就可見(jiàn)一斑。

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