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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于超聲波MEMS傳感器SPM0404UD5的應(yīng)用設(shè)計(jì)立即下載
2017-09-14 標(biāo)簽:MEMS 869 0
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2017-09-14 標(biāo)簽:mems脈沖密度調(diào)制 1.4k 0
MEMS為新一代航空電子系統(tǒng)提供高度可靠的性能潛力非凡立即下載
2017-09-14 標(biāo)簽:mems陀螺儀慣性測(cè)量單元 827 0
微機(jī)械簧片開(kāi)關(guān)為MEMS應(yīng)用的解決方案立即下載
2017-09-14 標(biāo)簽:MEMS簧片開(kāi)關(guān) 862 0
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2017-09-13 標(biāo)簽:mems振動(dòng)監(jiān)控 751 0
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2017-09-12 標(biāo)簽:memsrtc高精度計(jì)時(shí) 675 0
2017-09-12 標(biāo)簽:mems 700 0
2017-09-11 標(biāo)簽:MEMS 554 0
基于MEMS的汽車安全系統(tǒng)應(yīng)用立即下載
2017-09-07 標(biāo)簽:mems 424 0
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