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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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據(jù)IHS公司的最新MEMS市場研究報(bào)告,由于市場對寬帶互聯(lián)網(wǎng)服務(wù)的需求持續(xù)激增,預(yù)計(jì)2011年以及隨后幾年光MEMS銷售額強(qiáng)勁增長。光MEMS是超高速光...
2011-09-15 標(biāo)簽:MEMS 481 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加工及技術(shù)基礎(chǔ)
微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)統(tǒng)有多種原材料和制造技術(shù),選擇條件是系統(tǒng)的應(yīng)用、市場等等。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3k 0
微機(jī)電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.7k 0
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)特點(diǎn)分析
微機(jī)電系統(tǒng),英文名稱是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的縮寫),其是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械...
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 5.1k 0
MEMS微機(jī)電系統(tǒng)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng),主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2011-09-13 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.2k 0
MEMS和信號調(diào)理實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散硅壓力傳感器
文中介紹通過采用 MEMS (micro electro mechanical systems)技術(shù)制造的硅壓阻力敏元件結(jié)合智能集成化信號調(diào)理技術(shù)設(shè)計(jì)了...
2011年MEMS銷售額預(yù)計(jì)可達(dá)79.7億美元
據(jù)IHS iSuppli公司的 MEMS 研究報(bào)告,2011年上半年不同的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域增長速度有快有慢,突顯這些器件的使用領(lǐng)域更加多樣化。...
2011-09-08 標(biāo)簽:MEMS 843 0
Consensic感芯半導(dǎo)體推出MEMS電容式壓力傳感器CPS120
美國Consensic 公司推出革命性新型微機(jī)電(MEMS)智能電容式壓力傳感器CPS120,是全世界唯一一家數(shù)字式MEMS電容式壓力傳感器的廠商。
本項(xiàng)目基于VTI公司的SCA600C13H1G型MEMS加速度傳感器,提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,研制出一種簡單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒...
最近的傳感器技術(shù)發(fā)展使得機(jī)器人和其他工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了革命性的進(jìn)步。除了機(jī)器人以外,慣性傳感器有可能改善其系統(tǒng)性能或功能的應(yīng)用還包括:平臺穩(wěn)定、工業(yè)機(jī)械...
ST在MICROTech World上展示MEMS技術(shù)多項(xiàng)應(yīng)用成果
意法半導(dǎo)體 (STMicroelectronics,簡稱ST;紐約證券交易所代碼:STM)將于2011年8月24-26日在韓國2011年MICROTec...
Maxim收購傳感器和MEMS方案商SensorDynamics
美信(Maxim Integrated Products)宣布公司已完成對SensorDynamics的收購,SensorDynamics是一家提供專用...
ADI推出ADIS16210 MEMS iSensor數(shù)字傾角計(jì)系統(tǒng)
ADI全球領(lǐng)先的高性能信號處理解決方案供應(yīng)商,最近正式全面推出ADIS16210 MEMS iSensor數(shù)字傾角計(jì)系統(tǒng),該系統(tǒng)可在+/-180度的全向...
針對多點(diǎn)調(diào)平系統(tǒng)的不足,設(shè)計(jì)了電機(jī)式3點(diǎn)自動校準(zhǔn)平臺,簡化了控制模型。在分析了調(diào)平過程中可能遇到的干擾因素后,采用相應(yīng)的軟硬件抑制方法,提高了系統(tǒng)適應(yīng)復(fù)...
MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機(jī)械系統(tǒng))是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信...
2011-06-20 標(biāo)簽:MEMS 1.4k 0
雖然自微電子機(jī)械系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)第一次被用于安全氣囊和汽車壓力傳感器領(lǐng)域,至今已有20年左右,但真正讓人們更了解慣性傳感器的用途,卻是任天堂Wi...
TI推出單芯片無源紅外線(IR)MEMS溫度傳感器 TMP006
德州儀器 (TI) 宣布推出業(yè)界首款單芯片無源紅外線 (IR) MEMS 溫度傳感器,首次為便攜式消費(fèi)類電子產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)非接觸溫度測量功能
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器深受運(yùn)動、加速度、傾斜度和振動測量市場的歡迎。MEMS傳感器是系統(tǒng)級封裝解決方案,具有高分辨率、低功耗和尺寸緊湊等諸多優(yōu)點(diǎn)
消費(fèi)電子、通信電子產(chǎn)品,如手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)、PDA、MP3、PMP、P-DVD、DC、DV、NB、NetBook等必須具備一定的抗沖擊或抗跌落能力
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