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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS技術(shù)的機(jī)器健康解決方案 全面催動(dòng)全球走向工業(yè) 4.0
全球工業(yè)正迎來(lái)新一輪變革。無(wú)論是德國(guó)提出的“工業(yè)4.0”,美國(guó)的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”,還是中國(guó)的“中國(guó)制造2025”,三者本質(zhì)上都指向一個(gè)核心——智能制造。
一種聚合物壓電MEMS加速度計(jì)新設(shè)計(jì)方案
MEMS加速度計(jì)通過(guò)微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷(壓電)變化來(lái)檢測(cè)機(jī)械加速度,現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器,應(yīng)用量排名第二的MEMS器件。
智能傳感器這一概念是由國(guó)外引進(jìn)的,通常定義為“帶有微處理器,具有信息處理功能的傳感器”,傳感器很大程度上能讓物體慢慢變得活了起來(lái)。筆者獲悉,隨著物聯(lián)網(wǎng)技...
2015-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)智能傳感器 1.1k 0
MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設(shè)計(jì)師使用,因此模型應(yīng)當(dāng)盡可能緊密地集成到用戶的設(shè)計(jì)流程。對(duì)于IC 設(shè)計(jì)師,這需要模型支持所有模擬器,具有設(shè)計(jì)流程中的各種實(shí)體...
2013-01-24 標(biāo)簽:轉(zhuǎn)換器MEMS 1.1k 0
ST應(yīng)用于鳥(niǎo)類追蹤系統(tǒng)的先進(jìn)MEMS傳感技術(shù)
意法半導(dǎo)體與阿姆斯特丹(UvA)大學(xué)理工學(xué)院攜手宣布,該大學(xué)研發(fā)的先進(jìn)鳥(niǎo)類追蹤系統(tǒng)采用了意法半導(dǎo)體的先進(jìn)MEMS傳感技術(shù)。
艾邁斯半導(dǎo)體推出了一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的氣體傳感器模塊
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,全球領(lǐng)先的高性能傳感器解決方案供應(yīng)商艾邁斯半導(dǎo)體(ams)宣布推出新版iAQ-Core模塊,這是一款用于檢測(cè)廚房環(huán)境中的蒸汽、氣味和煙...
2019-06-28 標(biāo)簽:mems氣體傳感器艾邁斯半導(dǎo)體 1.1k 0
英飛凌進(jìn)一步改善MEMS麥克風(fēng)聲學(xué)性能和功耗
根據(jù)市場(chǎng)調(diào)研機(jī)構(gòu) Omdia報(bào)告指出,英飛凌科技股份有限公司已成功登上 MEMS 麥克風(fēng)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)地位。根據(jù)報(bào)告中MEMS 芯片銷售量顯示,英飛凌的市場(chǎng)...
硬件,尤其是MEMS傳感器,仍將會(huì)是終端裝置中不可或缺的部份,但展望未來(lái),軟件在為用戶帶來(lái)價(jià)值方面也扮演同樣重要的角色。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS技術(shù) 1.1k 0
當(dāng)關(guān)于振蕩器的討論出現(xiàn)時(shí),同樣的問(wèn)題也會(huì)出現(xiàn)。在您對(duì)性能的選擇是什么呢關(guān)鍵應(yīng)用,MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))或石英基振蕩器?基于mems的振蕩器自2005年開(kāi)...
如何通過(guò)應(yīng)力和應(yīng)變管理實(shí)現(xiàn)高精度傾斜/角度檢測(cè)性能
本文探討采用加速度計(jì)的高精度角度/傾斜檢測(cè)系統(tǒng)的性能指標(biāo)。我們首先從微觀角度分析傳感器設(shè)計(jì),以便更好地了解微米級(jí)別應(yīng)力和應(yīng)變的影響。分析表明,如果不遵循...
隨著移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機(jī)電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來(lái)了重大發(fā)展機(jī)遇。在致力于防患未然的汽車主動(dòng)安全領(lǐng)域,ESC(車身穩(wěn)定系統(tǒng))、ABS(防抱...
電子工程師年輕創(chuàng)新者在“音樂(lè)的音符”中實(shí)現(xiàn)靈魂跳動(dòng)
在伯克利學(xué)習(xí)微機(jī)電系統(tǒng)工程博士學(xué)位期間,Ernest不僅專注于學(xué)業(yè),開(kāi)始專注于射頻MEMS。他在黎明時(shí)分在MEMS實(shí)驗(yàn)室開(kāi)始他的一天,經(jīng)常整天待在實(shí)驗(yàn)室...
低功耗應(yīng)用的MEMS加速儀傳感器功能,如何將之利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來(lái)增加電池壽命。傳感器變得越來(lái)越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來(lái)說(shuō),...
2018-05-21 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體低功耗 1.1k 0
在 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))制造領(lǐng)域,光刻工藝是決定版圖中的圖案能否精確 “印刷” 到硅片上的核心環(huán)節(jié)。光刻 Overlay(套刻精度),則是衡量光刻機(jī)將...
紐迪瑞首次公開(kāi)發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器,基于MEMS技術(shù),通過(guò)蝕刻在硅片上的高精密半導(dǎo)體電阻組成惠斯通電橋以作為機(jī)電變換測(cè)量電路,可用于微小壓力檢測(cè)。
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開(kāi)性能因素,我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域...
2018-07-07 標(biāo)簽:傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 1.1k 0
鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會(huì)考慮用IC設(shè)計(jì)工具來(lái)創(chuàng)建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 標(biāo)簽:MEMS 1k 0
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對(duì)于各種表面探測(cè)技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場(chǎng)顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場(chǎng)顯微術(shù)中,它們?cè)谛隙葼顟B(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 1k 0
MEMS在無(wú)人系統(tǒng)領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力
MEMS慣性導(dǎo)航在過(guò)去數(shù)十年內(nèi)得到了迅速發(fā)展,在無(wú)人系統(tǒng)領(lǐng)域內(nèi)得到了越來(lái)越多的應(yīng)用,其作為未來(lái)慣性導(dǎo)航的主要發(fā)展方向,正在展現(xiàn)出強(qiáng)大的潛力以及良好的應(yīng)用前景。
2020-07-14 標(biāo)簽:mems無(wú)人系統(tǒng) 1k 0
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