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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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MEMS壓力傳感器是傳感器行業(yè)中市場規(guī)模最大的細分市場之一,具有體積小、功耗低、價格便宜等優(yōu)點。隨著時代的發(fā)展及人們對健康的重視度提高,血壓儀開始走進用...
利用新型MEMS開關(guān)提高測試能力和系統(tǒng)生產(chǎn)力
卓越的高速和直流性能:實現(xiàn)從DC到34 GHz的寬帶寬是當今行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)。ADGM1001在插入損耗、線性度、RF功率處理和R等關(guān)鍵參數(shù)領(lǐng)域提供從直流...
關(guān)于卡爾曼這部分內(nèi)容,一直思考怎么用通俗易懂的方式來按照自己的理解梳理。但是無奈,總是繞不開用數(shù)學的方法表達那 5 個關(guān)鍵的公式。不論是在B站,還是各個...
許多MEMS 驅(qū)動器都是利用靜電力作用驅(qū)動力。在很多微型電動機和制動器的設(shè)計工作中,準確的估算靜電力大小是非常重要的。
如何為無線狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)選擇最佳MEMS傳感器
有數(shù)以百萬計的電動機在連續(xù)運行,消耗全球約45%的電力。1其中大多數(shù)關(guān)鍵電機可能由有線CbM系統(tǒng)監(jiān)控。根據(jù)一項研究,82% 的受訪公司經(jīng)歷過計劃外維護,...
當工廠中的關(guān)鍵電機意外發(fā)生故障時,生產(chǎn)就會停止。如果需要更換特定部件甚至整個電機,則可能會產(chǎn)生較長的交貨時間。計劃外停機的成本是計劃內(nèi)停機的 10 倍。...
基于法拉第電磁感應(yīng)定律的單片集成MEMS三軸磁場傳感器
該研究中對傳感器進行的相關(guān)測試仍采用開環(huán)驅(qū)動電路,閉環(huán)驅(qū)動電路由于電路匹配問題仍在優(yōu)化過程中。預(yù)計采用閉環(huán)驅(qū)動電路進行測試后,傳感器的靈敏度將得到提高,...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
共聚焦激光內(nèi)窺鏡(Confocal laser endomicroscopy)是一種新興的成像技術(shù),作為一種常規(guī)醫(yī)學內(nèi)窺鏡附件正在開發(fā)臨床應(yīng)用。
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場顯微術(shù)中,它們在小撓度狀態(tài)下的力學行為被很好的...
2022-11-21 標簽:mems 1k 0
MEMS聲學傳感器的出現(xiàn),讓音箱不再只能單純播放音樂,而是成為可以與人互動的智能終端。
納米技術(shù)涉及到材料的操縱和結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)的建立它們以原子的規(guī)模存在,分子=納米尺度。
亞毫米級的測量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
利用標準代工平臺構(gòu)建硅光子MEMS微環(huán)諧振濾波器
通常,利用光子集成電路(PIC)執(zhí)行此操作。光子集成電路將光限制并引導到微尺度組件中,例如陣列波導光柵或集成環(huán)形諧振器等,這些組件在多個波長通道中操縱信息。
反射型顯示器技術(shù)背后的產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀
電潤顯示的反應(yīng)速度要比電泳快很多,但要實現(xiàn)與LCD一樣的反應(yīng)速度,電潤材料的液體粘性仍然很難克服,而且即便是其粘度能達到與液晶一樣,其分子自組裝仍然需要...
為了提高流體機械的效率,需要表征曲面上的近壁流動,以抑制這種流動分離。不過,實現(xiàn)這一目標需要解決多方面的挑戰(zhàn)。
可變光衰減器包括機械式技術(shù)、可調(diào)衍射光柵技術(shù)、MEMS技術(shù)、液晶技術(shù)、磁光技術(shù)、平面光波導技術(shù)等。
MEMS(Micro Electro Mechanical System,微機電系統(tǒng))技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學技術(shù)的結(jié)合,通常...
犧牲層技術(shù)自20世紀80 年代美國加州大學伯克利分校開發(fā)至今,得到了快速發(fā)展。犧牲層技術(shù)是 MEMS 工藝設(shè)計中有別于傳統(tǒng)IC制造工藝技術(shù)之一
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