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      廠商產品 +關注129人關注

      微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3739個 瀏覽：197368次 帖子：462個

      mems技術

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      2018-11-23 標簽：傳感器MEMS意法半導體 5.1k 0

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