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MEMS振蕩器是指通過(guò)微機(jī)電系統(tǒng)制作出的一種可編程的硅振蕩器，屬于我們通常所說(shuō)的有源晶振。它是對(duì)傳統(tǒng)石英晶振產(chǎn)品的一個(gè)升級(jí)更新?lián)Q代，防震效果是前者的25倍，具有不受振動(dòng)影響、不易碎的特點(diǎn)。MEMS振蕩器的溫度穩(wěn)定性也比傳統(tǒng)晶振更好，不受環(huán)境溫度高低變化的影響。