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設(shè)計(jì)了一種基于靜電懸浮原理的微機(jī)械加速度計(jì)!
它采用三明治結(jié)構(gòu)的微敏感元件"電容式位移檢測(cè)方案及靜
電力懸浮控制方案!著重對(duì)敏感元件的主要結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)#參數(shù)
的選取#支承靜電力的計(jì)算以及量程極限#精度極限等問(wèn)題
進(jìn)行了分析"表明在目前技術(shù)條件下"可以實(shí)現(xiàn)量程約$%"
精度為&’($%的懸浮微加速度計(jì)!設(shè)計(jì)并加工出一種圓環(huán)
形結(jié)構(gòu)的敏感元件"已實(shí)現(xiàn)了)軸方向的靜電懸浮及加速
度測(cè)量"證明設(shè)計(jì)方案是可行的"進(jìn)一步研究可實(shí)現(xiàn)三軸懸
浮加速度計(jì)!
它采用三明治結(jié)構(gòu)的微敏感元件"電容式位移檢測(cè)方案及靜
電力懸浮控制方案!著重對(duì)敏感元件的主要結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)#參數(shù)
的選取#支承靜電力的計(jì)算以及量程極限#精度極限等問(wèn)題
進(jìn)行了分析"表明在目前技術(shù)條件下"可以實(shí)現(xiàn)量程約$%"
精度為&’($%的懸浮微加速度計(jì)!設(shè)計(jì)并加工出一種圓環(huán)
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