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以一種新型高4 值1213 加速度傳感器為例進行有限元模擬5 將實際封裝簡化為一種最簡
單的封裝結構5 進行頻域分析和時域分析5 討論粘結傳感器芯片和封裝基體的封接材料對其輸出信號的影響。頻域分析表明，封接材料的楊氏模量對封裝后加速度傳感器整體的振動模態(tài)的影響很大5 封接膠的楊氏模量很小時會致使加速度傳感器的信號失真，模擬表明可選用楊氏模量足夠高的環(huán)氧樹脂類作高4 值傳感器的封接材料。時域分析靜態(tài)模擬表明，封接材料的楊氏模量對最大等效應力、最大正應力以及沿加載垂直方向的正應力的最大值與最小值基本無影響。時域分析動態(tài)模擬表明5 隨著封接材料楊氏模量的提高5 動態(tài)模擬輸出的懸臂梁末端節(jié)點位移的波形和經(jīng)數(shù)字濾波后輸出的信號變好，封接材料的楊氏模量不影響輸出信號的頻率和均值，在加速度脈沖幅值輸入信號變化時，懸臂梁末端位移平均值輸出信號與輸入有良好的線性關系。
關鍵詞! 高4 值加速度傳感器- 傳感器封裝- 頻域分析- 時域分析
單的封裝結構5 進行頻域分析和時域分析5 討論粘結傳感器芯片和封裝基體的封接材料對其輸出信號的影響。頻域分析表明，封接材料的楊氏模量對封裝后加速度傳感器整體的振動模態(tài)的影響很大5 封接膠的楊氏模量很小時會致使加速度傳感器的信號失真，模擬表明可選用楊氏模量足夠高的環(huán)氧樹脂類作高4 值傳感器的封接材料。時域分析靜態(tài)模擬表明，封接材料的楊氏模量對最大等效應力、最大正應力以及沿加載垂直方向的正應力的最大值與最小值基本無影響。時域分析動態(tài)模擬表明5 隨著封接材料楊氏模量的提高5 動態(tài)模擬輸出的懸臂梁末端節(jié)點位移的波形和經(jīng)數(shù)字濾波后輸出的信號變好，封接材料的楊氏模量不影響輸出信號的頻率和均值，在加速度脈沖幅值輸入信號變化時，懸臂梁末端位移平均值輸出信號與輸入有良好的線性關系。
關鍵詞! 高4 值加速度傳感器- 傳感器封裝- 頻域分析- 時域分析
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