???????? 本文介紹潔凈室空氣處理系統(tǒng)自動控制的設(shè)計(jì)和應(yīng)用。概述了MAH 的控制原理，詳細(xì)地闡述了潔凈室露點(diǎn)和溫度的控制，并簡要地介紹了潔凈室正壓差控制和設(shè)備的群控原則。最后給出了PLC 在半導(dǎo)體潔凈廠房控制系統(tǒng)的應(yīng)用實(shí)例。
關(guān)鍵詞：空氣處理，露點(diǎn)，溫度，工程實(shí)例
???????? 目前中央空調(diào)系統(tǒng)的自動控制主要有DDC 和PLC 兩種方式，DDC 固化了專門的控制策略，在辦公大樓等民用領(lǐng)域使用較多。而PLC 具有可靠性高、網(wǎng)絡(luò)通訊靈活、控制功能強(qiáng)、性價(jià)比高的特點(diǎn)，使得其在工業(yè)領(lǐng)域的環(huán)境控制如半導(dǎo)體潔凈廠房的中央空調(diào)自控系統(tǒng)中得到了廣泛使用。
???????? HVAC 的空氣處理系統(tǒng)主要實(shí)現(xiàn)對潔凈區(qū)域的露點(diǎn)、溫度和正壓差的嚴(yán)格控制，防止靜電損壞集成電路、空氣中水分結(jié)露和粉塵對產(chǎn)品的污染,同時(shí)保持室內(nèi)空氣的新鮮度以使人體舒適。因此系統(tǒng)采用了可以獨(dú)立實(shí)現(xiàn)加熱、制冷、除濕、再熱和送風(fēng)的功能全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組MAH，以滿足主要工藝參數(shù)指標(biāo)和舒適性的要求。
???????? 根據(jù)相關(guān)的設(shè)計(jì)規(guī)范[1]和實(shí)際工藝的要求，潔凈室的主要工藝參數(shù)分別控制在：室內(nèi)溫度(22±2℃) ,室內(nèi)露點(diǎn)(10±1.5℃),潔凈室對室外大氣的正壓差(10Pa) 。
本文以某半導(dǎo)體芯片封裝測試廠潔凈室的空氣處理系統(tǒng)的控制為例，著重討論空氣處理
控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和PLC 在其中的應(yīng)用。