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紫外激光的波長(zhǎng)短，能量聚集集中，分辨率高，特別是具有“冷加工”的特性，能直接破壞連接物質(zhì)的化學(xué)鍵，而不產(chǎn)生對(duì)外圍的加熱，因此成為加工脆弱物質(zhì)的理想工具，并能對(duì)多種材料進(jìn)行打孔、切割、燒蝕，在微加工領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。簡(jiǎn)要介紹了幾種紫外激光器的原理特點(diǎn)及其發(fā)展現(xiàn)狀，并討論了它在激光加工中的應(yīng)用。
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