銷售維修普發(fā)分子泵組 HiCube 80 Eco

型號： HiCube 80 Eco

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

品牌德國 Pfeiffer
產(chǎn)地德國

--- 產(chǎn)品詳情 ---

因產(chǎn)品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 分子泵組 HiCube Eco 系列, 緊湊型臺式設計, 提供潔凈的超高真空環(huán)境, 適用于中小型腔體. 分子泵組極限真空度最低 < 10-10 hPa. 前級泵配備隔膜泵保證清潔無油, 分子泵可選 HiPace 30, HiPace 80, HiPace 300 和 HiPace 300 H.

Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube Eco 特點
1. "即插即用", 緊湊設計適合所有的高真空應用
2. 風冷設計, 易維護
3. 前級泵配備隔膜泵保證清潔無油, 分子泵多種型號供選擇
4. 可搭配 Pfeiffer 真空計
5. UL / CSA 認證
6. 輕松收集數(shù)據(jù)和分析

?Pfeiffer 普發(fā)分子泵組 HiCube Eco 技術參數(shù)：

泵組型號	進氣法蘭	分子泵型號	抽速氮氣l/s	極限真空 hPa	前級泵型號	前級泵抽速 m3/h	資料下載
HiCube 30 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 30	22	1X10-7	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
	DN 63 CF-F	HiPace 30	32	1X10-8	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
	DN 63 ISO-K	HiPace 30	32	1X10-7	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
HiCube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
HiCube 300 Eco / HiCube 300 Eco	DN 100 CF-F	HiPace 300	260	1X10-8	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
		HiPace 300 H	260	1X10-10	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
	DN 100 ISO-K	HiPace 300	260	1X10-7	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF
		HiPace 300 H	260	1X10-7	MVP 015-2	1	下載 PDF
					MVP 015-4	0.75	下載 PDF
					MVP 030-3	1.8	下載 PDF

分子泵組應用
1. 研發(fā) 2. 加速器 3. 分析和表面物理學 4. 真空工藝技術 5. 高真空和超高真空

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刻蝕是半導體制造中最常用的工藝之一, 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜儀適用于等離子體刻蝕過程及終點監(jiān)測 (干法刻蝕終點檢測), 通過持續(xù)監(jiān)控腔室工藝化學氣體, 確保半導體晶圓生產(chǎn)的高產(chǎn)量和最大吞吐量.

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