SuperViewW1非接觸式輪廓儀是一款可以進行微納米級別精度測量的三維形貌一鍵式測量儀，主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
部分技術參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%
產(chǎn)品功能
1）系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；
2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），結合VSI和PSI的自適應通用測量模式（USI）
3）多區(qū)域自動分析：自動獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統(tǒng)計分析功能。提供軟件截圖；
4）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
5）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
8）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
10）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
SuperViewW1非接觸式輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。還支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。
SuperViewW1非接觸式輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
