不同型號掃描電鏡的操作步驟會有一些差異，各廠家的EBSD系統(tǒng)，特別是控制SEM的軟件都不一致。但基本操作步驟是相似的，下面給出一般的步驟，其目的是使初學(xué)者有個感性認識，同時幫助比較快地了解此技術(shù)。

01

啟動掃描電鏡、EBSD控制計算機、EBSD圖像處理器（一般需要30min的穩(wěn)定時間）。

02

裝入樣品，使樣品坐標(biāo)系與電鏡坐標(biāo)系重合；一般使樣品邊緣平行或垂直于拉伸或平行（垂直）于軋向，注意使用電鏡上的十字交叉對準(zhǔn)線，水平移動樣品看是否一直與屏幕保持平行，不平行時繞Z軸旋轉(zhuǎn)樣品進行調(diào)整。

03

樣品傾轉(zhuǎn)70°，使樣品面對EBSD探頭（若使用傾斜的樣品臺，則省去傾轉(zhuǎn)操作）；進行傾轉(zhuǎn)校正及動態(tài)聚焦；工作距離調(diào)到15~25mm；

04

插入EBSD探頭，以點模式產(chǎn)生菊池花樣（若此時有菊池帶，測量就基本沒問題了。）

05

回到掃描電鏡圖像分析模式，使電鏡處在最快的掃描速度，在EBSD系統(tǒng)計算機上進行菊池花樣的扣背底。

06

再轉(zhuǎn)回到點模式，看扣背底后的菊池帶效果，并調(diào)整圖像處理器上或其軟件窗口中的亮度，襯度，優(yōu)化菊池帶。

07

在EBSD控制計算機上起動EBSD數(shù)據(jù)獲取軟件，創(chuàng)建存儲數(shù)據(jù)的文件名，調(diào)入?yún)⒄諏Ρ扔玫木w學(xué)庫文件，同時調(diào)入探頭取向的校正文件（calibration file）。

08

選幾個菊池花樣進行自動標(biāo)定，檢查標(biāo)定的可靠性和誤差大小，校正工作距離。

09

確定取向成像測定時的相應(yīng)參數(shù)，如步長大小、X/Y方向的測定點數(shù)、放大倍數(shù)，起動“自動進行”按鈕；

10

取向成像完成后，最好對測量區(qū)域照張形貌像，作為EBSD取向成像圖的對比。抽出EBSD探頭，樣品傾轉(zhuǎn)回水平位置。關(guān)閉電鏡上的電流、電壓及EBSD控制計算機及圖像處理器。

審核編輯：劉清