在電子醫(yī)療器械領域，MEMS傳感器正被用于不同功能的醫(yī)療設備。雖然MEMS技術仍存在瑕疵，如制造成本較高，精度不夠……但是這些問題都會隨著制造及MEMS測試技術的進步而改善?？梢灶A見，MEMS將有效提升人類醫(yī)學的認知水平，對疾病研究、藥物開發(fā)、手術等方面有著巨大的推動作用。今天SPEA將為大家介紹MEMS傳感器在醫(yī)療器械中的主要應用。

1. 生命體征監(jiān)測儀器

生命體征監(jiān)測設備是MEMS傳感器的主要應用之一。此外可穿戴設備作為電子信息和醫(yī)療健康領域結合的新型生命體征監(jiān)測儀器，正在快速發(fā)展。很多手環(huán)和智能手表都集成MEMS傳感器，可以監(jiān)控心跳、呼吸、血壓等健康特征。這些產(chǎn)品甚至獲得了國家藥品監(jiān)督管理局的醫(yī)療器械批準,可以方便使用者隨時進行心電圖檢測,并提供心臟疾病的早期預警。

1. 心血管疾病治療器械

心血管疾病人類健康的頭號殺手。這類疾病隱蔽性強，往往需要專業(yè)的醫(yī)生結合聽診器或特殊設備才能發(fā)現(xiàn)。基于MEMS傳感器制作的心音監(jiān)測設備可以有效解決傳統(tǒng)聽診器的弊端，使用MEMS麥克風并結合分類算法實現(xiàn)了對心音的捕捉和分析,并在顯示器上提供詳細的分析報告,用于輔助醫(yī)生診斷心血管疾病。此外小巧的MEMS傳感器在心臟起搏器上應用具有巨大優(yōu)勢。

1. 仿生耳蝸

MEMS傳感器仿生工耳蝸的關鍵構成之一，人工耳蝸有幾個共同的外部構件，他們組合起來完成聲音的收集、分析、處理，以及向內(nèi)部構件傳遞信息。外部構件包括MEMS麥克風、連接導線、言語處理器和發(fā)射線圈。使用MEMS電容傳感器制作的耳蝸，具有較高的靈敏度和頻率帶寬。MEMS技術制作的人工耳蝸電極,具有較好的穩(wěn)定性和優(yōu)異的電化學性能。

4、微創(chuàng)手術機械

微創(chuàng)手術機械是西現(xiàn)代醫(yī)學進步的主要標志，正式MEMS技術手術機械中的應用有效促進了微創(chuàng)手術普及。MEMS磁傳感器制作了一種位置追蹤系統(tǒng),可以實時跟蹤器官的形狀和血管的位置,可用于腹腔鏡手術中器官和血管位置的導航定位，大大提升手術精準度。

醫(yī)療設備小型化，精細化需求仍在持續(xù)增長 ，這對MEMS傳感器的靈敏度及關鍵性能參數(shù)提出了更高要求。當前，大部分MEMS測試技術仍然停留在后端測量，暫無法覆蓋到MEMS器件的設計與生產(chǎn)環(huán)節(jié)，對于MEMS傳感器制造商及MEMS測試服務商來說機遇與挑戰(zhàn)并存。

全世界有能力生產(chǎn)、設計MEMS傳感器的廠家寥寥無幾，而能夠做到快速高效檢測的ATE設備廠商也是屈指可數(shù)。MEMS傳感器制造和測試的難點主要集中再以下幾方面：

1、醫(yī)療器械中MEMS器件封裝精度要求較高

MEMS從中文名字叫微機電系統(tǒng)，微小精密是其特色也是難點。MEMS系統(tǒng)包含特殊的信號界面、外殼、內(nèi)腔等結構，在MEMS器件與功能性基板鍵合過程中增加了拾取和放置時的位置及角度控制難度。

2、MEMS原材料脆弱，對于定位精度和鍵合力度要苛刻

MEMS器件的機械強度遠遠小于IC芯片，如微慣性傳感器、微陀螺儀等，通常含有腔體或懸臂等機械部分，這些結構由于尺寸微小，再制造過程中很容易因物理接觸和暴露而被損。此外MEMS器件對于精準的定位精度和鍵合力度要求也有著苛刻的要求。

3、醫(yī)療器械靈敏度要求高，測試難度大

電子醫(yī)療儀器，需要實時、準確地監(jiān)測人體各種壓力指標的變化能對診斷和治療起到非常積極的作用。MEMS器件的檢測電路極其復雜；與被測的微小電容相比，雜散電容一般要高很多，并且雜散電容會隨諸多因素而變化，當干擾信號大于被測量的信號時，很難獲取準確的結果。

總而言之，mems傳感器的功耗、尺寸以及精度是目前乃至未來最主要的挑戰(zhàn)?？萍歼M步造福人類，本期有關MEMS技術在醫(yī)療領域的應用就介紹到這兒。更多MEMS測試相關內(nèi)容請關注下期分享。