超聲電機(jī)壓電致動器驅(qū)動的設(shè)備R軸應(yīng)用，超聲電機(jī)高精度（約為0.005°）、可中空、體積小、扭力大、斷電自鎖、適應(yīng)溫度范圍-40℃到105℃，配合外置或者內(nèi)置閉環(huán)控制進(jìn)行高精度，可應(yīng)用于設(shè)備R軸及微型機(jī)械臂應(yīng)用。

目前設(shè)備R軸及微型機(jī)械臂，普遍使用伺服電機(jī)、步進(jìn)電機(jī)，控制方案，但是方案體積大，重量大，運(yùn)動精度低，無法中空，結(jié)構(gòu)配件要求笨重，一般精度無法到達(dá)0.005°級別。

壓電致動器驅(qū)動的設(shè)備R軸及微型機(jī)械臂，超聲電機(jī)高精度、可中空、體積小、重量只有15克，扭力大任意組合，不產(chǎn)生干涉。

微型體積輸出大推力，閉環(huán)控制，將微型高精度閉環(huán)控制系統(tǒng)安裝在微型超聲電機(jī)背部，實(shí)現(xiàn)位置反饋，運(yùn)動過程中將信息傳導(dǎo)到超聲電機(jī)0.005°閉環(huán)控制電路從而控制微型超聲電機(jī)精準(zhǔn)運(yùn)動。

超聲電機(jī)伺服控制電路支持物理限位尋零功能。使用超聲電機(jī)技術(shù)制作的滑臺具有明顯優(yōu)勢。

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